성균관대 반도체 Dry Etching 예비 보고서

소개글

성균관대 반도체 Dry Etching 예비 보고서에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 실험 이론
2. 실험 목적
3. 실험 장비
4. 실험 과정
5. 예상 결과
6. 참고문헌

본문내용

이후로는 Etching이 더 이상 진행하지 않을것이라고 예상한다.
6. 참고문헌
반도체 공정실험 Dry Etching 수업자료 PDF
화학용어사전 - 화학용어사전 편찬회, 윤창주, 2011. 1. 15, 일진사
반도체 공정플라즈마의 현황과 전망 한국물리학회 , 장홍영
바로 간다 삼성전자 프리이코노미북스 , 도현우, 이재호 , 2015. 9. 7

키워드

반도체,   dry etching,   건식 식각,   반도체 공정,   예비보고서,   pre report