Chiller & Heat Exchanger 전문기술자료

소개글

Chiller & Heat Exchanger 전문기술자료에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 공정 대응 흐름도
2. Chiller & Heat Exchanger 사양서
PE CVD : JUSUNG
Dry Etch : TEL, ADP, ICD
3. 설치 실적
4. Chiller & Heat Exchanger 특장점

본문내용

*대체 냉매의 필요성
현재 가장 많이 상용화되어 있는 냉매는 R22인데, 규제일정으로 인하여 선진국에서는
2030년에 완전폐기, 개발도상국에서는 2040년에 완전폐기 하게 되어 있는 바, 대체
냉매의 필요성.

*대체 냉매
R22를 대체 할 대체냉매의 경우,
-R134a는 R22 대비 효율이 약60%로 떨어지고, 장비 Size가 약 1.5배 증가하게 됨. 또한,
저온용 냉동기의 경우, 증발온도가 -27도 이하일때 압축기에 진공압력이 걸려서 Open
Type 압축기는 Shaft부위에서 Sealing 에 문제의 소지가 있음.

-R404a는 Non-Azeotropic(비공비 혼합물)이기 때문에 시스템에서 냉매의 일부 누설 시
냉매 전체를 교체 해야 함. 압축기 압력 및 운전조건이 R22와 거의 비슷하며 유럽에
서는 상용화 중 이며, 또한 R22 대비 효율이 약간 향상되며 (약 105%),장비 Size가 거의
동일 함.

*대체 냉매 선정
R22 냉매를 대체할 수 있는, 상기 사항들을 고려할 때 R404a로 대체하는 것이 적합한
것으로 검증 됨.

키워드

Chiller & Heat Exchanger 사양서,   특장점,   공정구분,   Dry Etch용 공정 대응 흐름도,   .PE CVD 공정 대응 흐름도