MFC FLOW MONITORING SYSTEM주요내용 및 초안

소개글

MFC FLOW MONITORING SYSTEM주요내용 및 초안에 대한 보고서 자료입니다.

목차

본 발명의 요약
현재 문제점 및 그것을 해결하고자 하는 본 발명의 목적
발명의 구체적 설명
MODULE 동작상태 MONITORING SYSTEM 설명
HARDWARE 구성 (MAIN MCU)
SDPCS 설명
특허범위
MFC 동작 구조(별첨) 및 문제점
HARDWARE 연결형태
설치형태
설치형태 전개도 설명

본문내용

본 발명의 요약
  - 반도체 산업분야에서 사용되는 CHAMBER 내에서 화학적 반응을 하여 공정을 진행하는 각 공정
GAS /LIQUID 의 질량을 정확하게 공급하기 위하여 사용하는 MFC(MASS FLOW CONTROLLER)의
현재 동작상태를 확인하여
1)설비에서 제어하는 유량만큼 CHAMBER에 공급양 확인 비교
 상위장치에 전달하여 공정에 필요한 양과 실제 공급되는 양의 차이를 비교하여 공정사고를 예방
2) 설비에서 제어하는 신호에 따라 동작상태( 제어 신호와 실제구동 되는 것을 비교하여
공급되는 시간차와 제어값에 도달하는 기울기의 형태를 분석하여 MFC의 상태를 실시간으로
상위장치에 공급하여 MFC 문제발생 (DOWN, 동작 불안정, HUNTING 등) 전에 조치를 취하여
공정사고와 설비 장시간 정지를 예방

키워드

MFC FLOW MONITORING SYSTEM주요내용 및 초안,   반도체산업CHAMBER,   MFC,   설치형태,   MFC 동작 구조(별첨) 및 문제점,   HARDWARE 연결형태,   MODULE 동작상태 MONITORING SYSTEM 설명