Back-End 공정 구성 항목
본 자료는 5페이지 의 미리보기를 제공합니다. 이미지를 클릭하여 주세요.
닫기
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • 6
  • 7
  • 8
  • 9
  • 10
  • 11
  • 12
  • 13
  • 14
  • 15
  • 16
  • 17
해당 자료는 5페이지 까지만 미리보기를 제공합니다.
5페이지 이후부터 다운로드 후 확인할 수 있습니다.

소개글

Back-End 공정 구성 항목에 대한 보고서 자료입니다.

목차

Back-End 공정
BL
MC1
MC2
Metal

본문내용

BL은 cell string에 전압을 인가하는 path 역할을 하며, core 및 peri의 interconnection 역할을 한다

MC1은 active, gate, f-poly상에 형성되는 W-plug 구조의 contact이다

BL과 MC1의 W depo와 CMP를 merge하는 dual-damascene 공정을 채택하고 있다

MC2는 Metal과 BL의 연결 역할을 하며, Al-flow 방식으로 구현한다
  • 가격16,000
  • 페이지수17페이지
  • 등록일2021.02.15
  • 저작시기2002.6
  • 파일형식파워포인트(ppt)
  • 자료번호#1145341
본 자료는 최근 2주간 다운받은 회원이 없습니다.
다운로드 장바구니