Back-End 공정 구성 항목

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Back-End 공정 구성 항목에 대한 보고서 자료입니다.

목차

Back-End 공정
BL
MC1
MC2
Metal

본문내용

BL은 cell string에 전압을 인가하는 path 역할을 하며, core 및 peri의 interconnection 역할을 한다

MC1은 active, gate, f-poly상에 형성되는 W-plug 구조의 contact이다

BL과 MC1의 W depo와 CMP를 merge하는 dual-damascene 공정을 채택하고 있다

MC2는 Metal과 BL의 연결 역할을 하며, Al-flow 방식으로 구현한다

키워드

Back-End 공정 구성 항목,   Back-End 공정,   BL,   MC1,   MC2,   Metal,   Damascene process,   BL & MC1 dual-damascene,   4-step MC1 etch