F-Poly 공정 구성 항목,Floating gate & coupling ratio,Narrow F-Poly space 구현 방법
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소개글

F-Poly 공정 구성 항목,Floating gate & coupling ratio,Narrow F-Poly space 구현 방법에 대한 보고서 자료입니다.

목차

F-Poly 공정 구성 항목
CONTENTS 개요
CONTENTS 목표
Floating Gate & Coupling Ratio
Narrow F-Poly Space 구현
F-poly shortening
F-poly M/A 관리
F-poly 저항
ONO 신뢰성

본문내용

F-poly 공정은 cell의 coupling ratio를 결정하는 중요한 공정의 하나로, cell 산포 및 신뢰성과 밀접한 관계를 갖는다

F-poly의 최종 space CD는 통상적으로 D/R의 절반 수준이기 때문에, 이의 구현을 위해 다양한 방법의 공정이 사용되고 있다

M/A 관리 및 shortening 최적화가 특히 요구되는 공정이다
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  • 페이지수16페이지
  • 등록일2021.02.15
  • 저작시기2002.6
  • 파일형식파워포인트(ppt)
  • 자료번호#1145346
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