F-Poly 공정 구성 항목,Floating gate & coupling ratio,Narrow F-Poly space 구현 방법

소개글

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목차

F-Poly 공정 구성 항목
CONTENTS 개요
CONTENTS 목표
Floating Gate & Coupling Ratio
Narrow F-Poly Space 구현
F-poly shortening
F-poly M/A 관리
F-poly 저항
ONO 신뢰성

본문내용

F-poly 공정은 cell의 coupling ratio를 결정하는 중요한 공정의 하나로, cell 산포 및 신뢰성과 밀접한 관계를 갖는다

F-poly의 최종 space CD는 통상적으로 D/R의 절반 수준이기 때문에, 이의 구현을 위해 다양한 방법의 공정이 사용되고 있다

M/A 관리 및 shortening 최적화가 특히 요구되는 공정이다

키워드

F-Poly 공정,   Floating gate & coupling ratio,   Narrow F-Poly space 구현 방법,   F-P shortening 및 M/A 관리 기준,   Poly 저항 관리,   ONO 신뢰성