MEMS 란?

소개글

MEMS 란?에 대한 보고서 자료입니다.

목차

차 례
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Ⅰ. What is MEMS

1. 정의 . . .2

2. mems의 역사와
mems의 정의의 변화 . . .3

3. 설 계 . . .3

1. 마이크로 세계의 이해 . . .3

2. 마이크로 머신의 재료 . . .4

3. 실용적인 접근에 초점 . . .4

4. 조합형 작동 시스템 . . .4

5. 마이크로 CAD . . .5

Ⅱ. MEMS를 이용한센서시스템(Sensor systems)

1. 센서시스템.(Sensor systems) . . .5

2. 천문학과 천체물리학 . . .5

3. 정 찰 . . .6

4. 소형화 . . .6

Ⅲ. 다른 개발분야 . . .8

결론 . . .9

본문내용

공진기는 표준 단일모드 광섬유의 끝단을 녹임으로써 생기는 작은 구술들(지름이 약 수백만 미크론)이다. 새로운 평면형 도파관 광(planar waveguide light) 결합기술을 이용하여 실용적이고 튼튼한 센서장치플랫폼을 만든다. 많은 수가 배치될 만큼 크기가 작아 그 센서는 현장에서 쓰이고 있으며 앞으로 원격탐사의 가능성을 가지고 있다. 다중 미소구체들을 통합시켜 하나의 단일 광학 칩으로 만들어서 많은 화학 그리고 생물학적 종(species)들을 탐사할 수 있는 가능성을 제시하고 있다.
비침투(Noninvasive) 센서기술과 고온센서들은 올해 끊임없는 발전을 보여주었다. 비침투 센서기술에서의 노력들은 섬유광학기술에 집중되고 있다. 한 예로 반응하는 동안의 수소함량의 측정을 들 수가 있다. 고온센서기술에서는 NASA-Glenn 연구소에서 지휘하는 통합산업팀(integrated industry team)에서 혁신적인 새로운 탄화규소 반도체기술을 사용한 고온압력센서의 성공적인 테스트를 들 수가 있다. 그 작고 튼튼한 센서는 Honeywell AS907 엔진의 압축기 부분에 설치되어 화씨 970도까지의 온도에서 모든 엔진 테스트하는 동안 압력을 성공적으로 측정하였다. Kulite semiconductor Product에서는 앞으로 첨단엔진설계에 있어서의 압축기 스톨현상을 파악하는 데 쓰이는 압력센서를 제조할 것이다.
Ⅲ. 다른 개발분야
<구성도에서는 태양 전지판 상에서 하나의 네트워크 구성을 이루는 소실파(evanescent wave) 센서를 보여주고 있다.>
근접결합(close conjunction)에서 작용되는 검사위성(inspector satellite)들을 포함하는 수많은 마이크로 그리고 나노위성들의 가능성은 추진시스템으로부터의 잠재적인 장애와 자가오염효과등에 관한 관심을 증가시킨다. 그러한 효과들은 적외선감지센서, 태양전지판 그리고 광학시스템들과 같은 민감한 우주선표면에서의 원치 않는 퇴적물 생성을 일으킬 수가 있다.
라이스 시스템(Rice System)은 그러한 우주선 표면에서의 오염을 관찰 및 평가하는 광섬유기반 시스템을 개발시켰다. 네트워크형 매트릭스(matrix)를 이루는 광섬유 소실파 센서들(FOES: Fiber Optic Evanescent wave Sensors)의 우주선의 민감한 표면상에 비침투적으로 추가되어 점대점 측정보다 나은 통합된 측정을 제공한다. 라이스 시스템은 다양한 오염들에 대한 확인뿐 아니라 융제(ablation)와 퇴적현상 관찰을 위한 FOES 시스템의 개념을 증명해가고 있다. 또한 원격통신산업에서의 투자로 인해 추진된 대역폭 증가의 필요성은 테라헤르쯔급 빛의 생성과 분광학(spectroscopy)에 대한 기술에 상당한 연구를 하도록 이끌어가고 있다. 테라헤르쯔 광선은 초고속현상의 분광측정과 실내온도 상에서 높은 신호 대 잡음비를 내는데 있어서 아주 효과적이다. 일본의 Hamamatsu Phontonics에서는 전통적인 시간영역 분광학보다는 훨씬 빠른 테라헤르쯔 측정을 제공하는 주파수영역 분광학을 사용하여 실시간, 저 비용 테라헤르쯔 화상시스템(imaging system)을 만들어내는 것을 가능하게 하였다.
가까운 장래에, 센서시스템기술은 빠른 성장이 지속될 것으로 기대된다. 마크로 와 마이크로 기술의 조합을 이용한 저 전력, 저 비용으로의 응용을 위해 소형화(miniaturization)시키는 노력을 계속할 것이다. 나노기술과 같은 광범위한 분야들은 차세대 센서부품과 시스템 개발과 점차로 관련을 가지게 될 것이다.
※결론 :
MEMS, 무한한 개발 가능성 갖고 있어
기계, 전자, 생화학 등의 상호 협력 필요
MEMS는 각 분야의 첨단 기술 개발에 필수적인 기술로서 아직까지 짧은 역사로 인해 상대적으로 선진국가와 기술격차가 적어 미래형 첨단 기술로서 각광을 받고 있다. 전세계적으로 천여 개에 가까운 대학·정부·기업 연구소에서 수만 명의 과학자와 공학자들이 기술 개발에 한창이다. 현재 전산이 이공계 각계에서 필수적인 기본 기술로 사용되고 있는 것처럼 MEMS 기술도 얼마 후면 모든 분야에 침투할 것으로 보인다. 다시 말해 시장으로서의 규모도 상상을 초월하게 된다. 산업적인 규모뿐만 아니라 여러 분야의 기본 기술로서 발전하게 되면 MEMS 기술의 기반에 따라 전자, 기계, 생물, 화학, 의료 등의 분야에서의 시너지 효과도 같이 기대된다. 반대로 MEMS 기술이 뒤떨어지면 다른 여러 분야의 발전도 도모하기 힘들어질 수도 있다.

키워드

mems,   나노,   나노기술