노광공정 및 식각공정 발표자료

소개글

노광공정 및 식각공정 발표자료에 대한 보고서 자료입니다.

목차

노광공정 및 식각공정


❖ 전통적인 리소그래피
❖ 전통적인 리소그래피 – 트랜지스터
❖ 식각의 의미
❖ 식각의 종류
　- 습식 식각
　- 건식 식각

본문내용

3. 전통적인 리소그래피의 장점
대량생산으로 인해 생산속도가 뛰어나다.
반도체 생산에서 가장 핵심적인 기술
4. 전통적인 리소그래피의 문제점
회로 선폭의 계속적 축소에 대응하기 어렵다.
전통적인 리소그래피에서는 마스크의 패턴을 광학 렌즈를 통하여 웨이퍼에 축소 전사시키는 데, 이 때문에 웨이퍼에 전사되는 패턴은 원래의 모양에서 왜곡된 형태가 되며, 패턴의 크기가 작아질수록 이러한 왜곡 현상은 점점 심해지게 된다.

키워드

노광공정,   식각공정,   발표자료,   기계공작법