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목차
Crystal Growth
Czochralski Growth
Floating Zone Growth
Czochralski Growth
Floating Zone Growth
본문내용
Czochralski Growth
단결정 실리콘을 성장시키는 대표적인 방법
도가니를 사용하여 성장재료를 melting시키고, seed 결정을 사용하여 dipping 한 뒤에 이를 서서히 회전하면서 끌어올려 결정성장을 시킴
다결정실리콘을 도가니 안에 넣고 고온으로 가열하여 녹임
(도가니는 고주파로 가열)
원하는 결정방향의 Seed를 Si액의 표면가운데 접촉
Seed와 도가니를 천천히 서로 반대방향으로 회전시키며 끌어올림
냉각이 진행됨에 따라 큰 단결정이 얻어짐.
단결정 실리콘을 성장시키는 대표적인 방법
도가니를 사용하여 성장재료를 melting시키고, seed 결정을 사용하여 dipping 한 뒤에 이를 서서히 회전하면서 끌어올려 결정성장을 시킴
다결정실리콘을 도가니 안에 넣고 고온으로 가열하여 녹임
(도가니는 고주파로 가열)
원하는 결정방향의 Seed를 Si액의 표면가운데 접촉
Seed와 도가니를 천천히 서로 반대방향으로 회전시키며 끌어올림
냉각이 진행됨에 따라 큰 단결정이 얻어짐.
추천자료
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- 페이지수22페이지
- 등록일2012.02.18
- 저작시기2011.2
- 파일형식파워포인트(ppt)
- 자료번호#728322
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