SEM 조직관찰

목차

1. 실험목적

2. 이론
　가. SEM
　나. SEM의 구성
　　1) 전자광학계(Electrical optical system)
　　2) 시료실(Specimen stage)
　　3) 검출기(Secondary electron(SE) detector) - collect signal
　　4) 배기계(Vacuum system)
　　5) 전기계(Electronics)
　다. SEM의 분해능
　라. SEM의 시편준비
　마. 가속전압(accelerating voltage)의 영향
　바. Working distance 와 Depth of focus 와의 관계
　사. SE image 와 BSE image의 차이
　　1) Secondary Electron
　　2) Back Scattered electro
　　3) SE image 와 BSE image 의 차이점

3. 실험방법

4. 실험결과
　①연성파면
　②취성파면
　③취성+연성 파면

5. 고찰

본문내용

키워드

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