스퍼터와 포포인트프로브(4point probe)에 관해서

소개글

스퍼터와 포포인트프로브(4point probe)에 관해서에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 스퍼터
1.1 개념
1.2 원리
1.3 증착 방법
1.4 조작방법
1.5 장비

2. 포포인트 프로브(4point probe)
2.1 원리
2.2 용어 및 정보
2.3 측정조건

본문내용

높은 전압을 이용하기 때문에 4 point probe 방식으로는 측정이 힘들어, 보통은 rail type 이나 2 probe방식 또는 Circle type의 Probe를 이용합니다. 4 Point probe system과 같이 표면저항측정기라 불리기도하지만 고저항측정기라고도 부르며 당사에서는 취급하고 있지 않습니다.
7. 4 point probe system의 검교정은?
최근 정밀하고 정확한 측정Data를 유지하기 위한 계측기 검교정이 상당히 중요시 되고 있습니다. 4 point probe system은 일반적이고 보편화된 계측기가 아니기 때문에 검교정 할 수 있는 국내기관은 극히 드물고, 검정만 KRISS(한국표준과학연구원)에서 시행하고 있습니다. 때문에 교정은 각 제조사에서 시행할 수 밖에 없는 상황입니다. 당사의 제품은 위탁과제로 KRISS에 의뢰해서 공동개발한 제품으로 현재 국내에서 직접 제작하고 있으며, KRISS의 검정 방법에 따라 제작사 자체 검교정을 시행하고 있고, 사용자의 요청에 의해 저렴한 검교정비용으로 주기적인 검교정을 통해 항상 정밀하고 정확한 Data를 유지할 수 있도록 지속적인 기술지원을 하고 있습니다.
2.3 측정조건
1. 측정환경 : 측정환경은 충분히 전자 차폐되는 곳으로 한다. 또한 측정 조건은 원칙적으
로 온도 25±1℃, 상대 습도 60% 이하의 상태로 유지하도록 한다. 시료를 측정 환경에 30
분 이상 방치하여 정온에 도달하고 나서 측정한다.
2. 시료 : 측정용 단결정 시료는 불규칙한 모양의 시료이어도 좋다. 측정면은 평탄한 다듬
질, 탐침의 접촉점에서 가장 가까운 모서리까지의 거리 4mm이상, 두께 150㎛이상의 것으
로 한다.
3. 4탐침 장치 : 탐침은 초경 합금의 텅스텐 카바이드를 사용하여 원뿔 모양으로 가공하고
앞끝 반지름을 20~50㎛로 한다. 4탐침은 직선 위에 등간격으로 나열하고, 그 앞끝 간격은
원칙적으로 0.1cm ± 1.0%로 한다. 각 탐침 어셈플리 사이의 절연 저항은 10GΩ 이상으로
한다. 측정을 위해서 4탐침의 각각에 가하는 힘은 1~2N으로 한다.
4. 측정방법 : 시료 표면에 수직으로 4탐침을 가압 접촉시키고, 바깥쪽의 탐침을 통하여 전
류 I(A)를 흐르게 하여 가운데 2개의 탐침 사이의 전위차 V(V)를 측정한다. 그리고 측정값
은 극성을 바꾸어 실시하여 그 평균값을 취한다. 단결정 시료의 저항률은 다음식으로 산출
한다.

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