SIMS(심스 / 이차이온질량 분석기)의 원리, 종류, 장단점, 응용분야

소개글

SIMS(심스 / 이차이온질량 분석기)의 원리, 종류, 장단점, 응용분야에 대한 보고서 자료입니다.

목차

- 정의
- 종류
- 장단점
- 활용분야
- 표면분석
- 사용이유
- 결론

본문내용

1. 반도체산업: 반도체내의 impurity analysis, dopant의 distribution measurement, surface contamination measurement
2. 금속소재산업: 고순도재료의 극 미량 경원소농도 및 분포분석, 소재표면분석: (coating, adhesion, painting, corrosion, wear 등)
3. 정밀화학, 자원산업: 고 질량 유기화합물과 생체분자의 분석, 광물분석

키워드

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