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식각 반응에 활성화 에너지를 공급하여 특정
방향에 우세하게 식각을 일으키고 식각의 비등방성
도에 기여하는데 이는 습식식각에 비하여 선택비를 (selectivity) 떨어뜨리는 요인이 된다. 1.건식 식각 공정
2.건식 식각 개요
3.플
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전통적인 리소그래피 : 광학 리소그래의 한 종류이며, 자외선을 광
원으로 이용하는 리소그래피 전통적인 리소그래피
전통적인 리소그래피 – 트랜지스터
식각의 의미
식각의 종류
- 습식 식각
- 건식 식각
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식각
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻
-반도체 공정 중의 하나
반도체 공정 순서 (참고)
단결정 성장 → 규소봉 절단 → 웨이퍼 표면연마 → 회로설계
→ MASK제작 → 산화공정 → 감광액
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식각방법으로는 1㎛ 이하의 형상을 식각하기 어렵다고 할 수 있다. 이러한 이유로 인해 비등방성(anisotrophic) 식각 방법이 고밀도 집적회로의 구현을 위해 반드시 필요하게 되었으며 이러한 미세 형상의 식각은 건식식각에 의해 가능하게 되었
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식각 공정에서는 화학 용액을 사용하는 습식식각을 많이 사용했으나, undercutting, 오염, 그리고 모세관 효과에 의한 반응률의 저조 등의 여러 가지 문제점으로 인해 1970년대 초에 건식식각법이 개발되었다.
이때 미국에서 처음으로 개발된 RIE(Re
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