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요 약
1. 이 론
2. 실 험
3. 결 과
4. 고찰
5.결론
6. 참고문헌
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박막과 증착의 정의
박막이란 전기적,결정적 특성이 양 표면에 의해 지배되는 경우이고,그 두께는 단원자층,단분자층의 것에서부터 약5μm까지를 기준으로 두나,경우에 따라서는 그 한계가 달라질 수 있다.
증착이란 액체가 증기로 되어 수
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1. 화학기상증착(CVD)법
- 화학기상증착(CVD)은 여러가지 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 널리 쓰이고 있는 방법이다. 간단히 말하면 반응기체의 유입 하에서 가열된 substrate 표면에 화학반응에 의해 고체 박막이 형성되는 것을 일컫는데,
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증착되어 막을 형성하는 것이다.
아크 방전은 원리상 대기압에서도 일어날 수 있으나 진공에서
일어날 때 박막의 질이 훨씬 더 우수해진다. 음극 아크란 무엇인가?
음극 아크를 이용한 박막 증착법의 원리
음극 아크를 이용한 응
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박막이 입혀지면 브리지 회로를 통해 그 막의 전기저항을 측정하게 된다. 막의 면적을 알면 그 두께를 계산해낼 수 있다. 사전에 두께에 따른 저항값을 측정한 데이터 값을 이용하여 그 두께를 구한다.
※ 결과 및 고찰
1 조
2 조
증착시간
60 mi
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