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박막 재료 분석에 있어 PL은 매우 유용한 정보를 제공할 수 있으며, 절연체내의 이온에 대한 내부 복사전이 연구등 기타 여러 가지 고체 시료의 특성 분석에도 유용하게 사용될 수 있다고 한다. 1. 실험방법
2. 실험결과
3. 논의 및 고찰
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박막이나 나노구조를 증착시킬 때 사용한다. 현재 CVD는 LED 제조에 많이 쓰이고, PVD는 PDP에서 금속 전극 및 유전체 증착과 도금 분야에 많이 쓰인다.
참고로 PVD와 CVD를 결합시킨 방법들도 있다. 그중 MOMBE(Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy)은 원료를
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화학기상성장법 [化學氣相成長法, chemical vapor deposition
IC(집적회로) 등의 제조공정에서 기판 위에 규소 등의 박막을 만드는 공업적 수법으로 약칭은 CVD이다. 화학물질을 포함하는 가스에 열이나 빛으로 에너지를 가하거나, 고주파로 플라스마
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박막형성 공정
8. 저온 CVD 공정
9. PECVD
** Sol-Gel process **
1. Sol-Gel 법의 발전
2. Sol-Gel 법이란
3. Sol-Gel 법의 원료
4. 금속 알콕사이드
5. Sol-gel 반응
6. Si(OR)4의 가수분해 및 중축합 반응
7. Sol-gel 법으로 제작한 코팅막
8. 졸-겔법의 장
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박막을 관찰한다.
5. 결과 및 토의
1) 기상법에 의한 박막제조기술에는 어떤 방법들이 있는지 조사한다.
2) Thermal Evaporation으로 증착되는 발광재료에 대해 조사한다.
* 장비 ON 순서
1. Air, Water, Vent V/V Off 확인
2. Power ON
3. R/P ON, Gause ON
4. F/V ON,
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