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웨이퍼 반전 장치를 구비하여 웨이퍼를 뒤집은 후, 웨이퍼 이면으로 세정액을 공급하여 웨이퍼 이면을 세정한다.
반도체 세정 설비의 웨이퍼 반전 장치 및 그의 웨이퍼 감지 방법{WAFER REVERSE APPARATUS OF SEMICONDUCTOR CLEANNING EQUIPMENT AND METHOD FOR SENSI
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Okmectic
55.5
68.2
22.8
0.9
9
Wafer Works
29.3
35.2
32.4
0.5
10
Episil
26.6
35.2
32.4
0.5
합 계
6265.9
7639.5
21.9
100.0
<표. 세계 실리콘 웨이퍼 시장 점유율>
가. 국내업체
(1) LG Siltron
1983년 4월 코실(주)로 설립되어 1989년 4월 동부전자통신(주)으로 상호를 변경하였
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웨이퍼 제작을 위해 결정성장을 하고 필요한 단결정 잉곳으로 변환된다.
소량의 불순물 재료는 고유 도핑 준위를 이루기 위해 CZ법 동안에 액체 실리콘에 첨가된다. 바람직하지 않는 불순물들은 순수한 실리콘의 성장을 위해서 엄격하게 조절
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웨이퍼에 깊이가 1㎛이고, 직경 0.2㎛, 0.1㎛, 0.05㎛ 인 홈에 Cu를 채워 넣는 공정이다. PVD, CVD, ALD 중 어떤 것을 이용하겠는가? 생산단가와 공정시간을 염두해 둘 것!!
● PVD(Physical Vapor Deposition) : 물리적 기상 증착법
● CVD(Chemical Vapor Deposition)
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울처럼 증발하는데 여기에 웨이퍼를 넣어 회로를 연결시킨다.
2-3. 조립 및 검사
웨이퍼 자동 선별 : 칩들의 불량 여부를 컴퓨터로 검사하여 불량품을 골라낸다. 불량제품은 검은 잉크로 동그란 마크를 찍어 분류한다.
웨이퍼 절단 : 웨이퍼에
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