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442nm, θm= -14°)
IV. 결 론
본 연구는 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용하여 주기 500nm, 선폭 250nm의 패턴을 형성하였다. 이러한 패턴을 반응성 이온 식각 공정(RIE;Reactive Ion Etching process)과 UV 몰딩 공정을 사용하여 광 투과성 분광기를 제작 하였
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Step Method(STEM)”, Mathematical Programming, Vol. 1, No. 3, 1971, pp. 366~375.
Dessouky, M. I., Ghiassi, M, and Davis, W. J., “Estimates of the Minimum Nondominated Criterion Values in Multiple-Criteria Decision Making”, Engineering Costs and Production Economics, Vol. 10, 1986, pp. 95~104.
Evans
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