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CMP 용 로타리 조인트 수리
CMP 공정 유지비용
Test System 연결
Leak Test Setting
Leak Test 방법 및 Spec
SLURRY 절감용 초음파 노즐 제안,CMP 공정 유지비용,로타리 조인트 수리,Leak Test 방법 및 Spec,SLURRY 절감용 CMP SLURRY 절감용 초음파 노즐 제안을
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Test, 100 rpm, 0.5bar (저압테스트) 를 통과 하였다면 또다시 고압 Test
100rpm, 5bar에서 동일한 조건으로 Test가 이루어지며, 각 Ports 및Vents로
Test를 통과 하지 못했을 경우에는 분해후 재 수리후 동일한 방법으로 Test를 합니다. 1. CMP 용 로타리 조
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LEAK TEST : LT)
: 누설탐상은 저장용기, 압력용기, 진공챔버, 배관 등의 밀폐된 장치에 발생한 미세한 구멍이나 균열로부터 기체, 액체 및 분말과 같은 유체가 누출되거나 유입되는 것을 찾는데 사용되는 검사법입니다.
-유압 챔버의 누설 검사 -
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튜브 새거나 연결이 안 되었을 경우
ballooning 확인
O2 cell failure
O2 cell 연결 확인, O2 cell adaptation
Peep low
Leakage 여부 확인
Pressure tigger 여부 확인
Alarm 범위 조절 1.Ventilator( Hamilton C1) Setting 방법
2.Ventilator Raphael Setting 방법
3.Ventilator Alarm 대처
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Testing : UT)
3) 침투 탐상검사(Liquid Penertrant Testing : PT)
4) 자분 탐상검사(Magnetic Particle Testing : MT)
5) 와전류 탐상시험(Electromagnetic Induction Testing : ET)
6) 누설검사(Leak Testing : LT)
7) 스트레인 측정(Strain Measurement)
8) 육안검사(Visual Inspection : VT)
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