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MFC를 결합한 형태의 소비산업구조를 한번 생각해 보면,
이커머스시장의 성장이 라이브커머스의 성장으로 발전되고 이가 다시 라이브커머스를 활용한 퀵커머스인 MFC의 시대로 도래 한 것에 대한 현재와 미래의 소비트렌드 산업의 성장으로
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MFC(Mass Flow Controller)와 기체 주입부, 그리고 전기적인 장치들을 컴퓨터로 제어하는 제어부로 되어있다. [그림G]를 보면 가장 위쪽에 열전자 방출에 쓰이는 텅스텐 필라멘트가 있다. 텅스텐 필라멘트는 세라믹홀더에 용접하여 고정시키고, 2-3A
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3. 실험 방법
준비된 실리콘 웨이퍼를 로드락 챔버에 로딩
샘플 메인 쳄버에 로딩
주 공정챔버 :3x10-6torr 이하로 진공 분위기 만듬
MFC 밸브를 통해 working pressure 조절
RF power(전압)를 100W로 조절하여 Ar plasma 형성
체임버내에 주입되는 가스량
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MFC(질량유량계)가 있음 –원하는 만큼 정확히 챔버내에 주입. 가스의 양은 SCCM이라는 단위로 들어감 (standard cubic centimeter per minute)
8.Cathode Shield: 장착된 타겟에서 원하는 부위만 스퍼터링 되게 하고, 방전의 안정성 유지를 위해 장착-타겟과
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