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재료합성공정.
2. 응용 분야:
- thin film, coating 제조
- solid state electronic devices 제조
- ball bearing, cutting tool coating
- engine 내부 coating
- MOS 제조 1.서론
2.반응유형, Precursors
3.관련 기초분야: 열역학, Kinetics, Dynamics
4.Modified CVD
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modified)
R (C) = - M sub t mu sub max {C} over {K sub c + C } {O} over {K sub o + O }
iii) 1차수 분해(first order degradation)
기질에 대한 특성치들은 매우 얻기가 어려울 뿐만 아니라, 얻어진 값이라 할 지라도 공간적 시간적 특이성을 가지고 있기 때문에 정확한 현
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