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Modulation, Triode Discharge System, Ring Electrode Discharge, Plasma Property Variation as a result of the Particulate Contamination I. 서론
II. 용량결합형 RF 여기 CH4 플라즈마를 이용한 DLC (Diamond-like-Carbon)막 증착 공정 중의 미립자 발생 및 행동양식.
III. 플라즈
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원리
5. stepping motor의 종류와 구조
6. 속도와 토크 특성과의 관계
7. 고속 시 torque를 크게 하는 방법1 - 정전압 구동방식
8. stepping motor의 구동
9. 운전방식(구동방식 : Driving Mode or Method )
10. 유니폴라 구동과 바이폴라 구동의 정리
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