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Layer
Material
Refractive
Index
Working
Pressure(×10-5)
Temperature
(°C)
Power
Physical
Thickness (nm)
Medium
Air
1
0
0
0
1
TiO2
2.23867
8.5 / 9.7
149 / 151
36.2 / 32.4
62.6
2
SiO2
1.4218
9.6 / 9.5
151 / 151
20.2 / 23.0
90.1
3
TiO2
2.23867
8.5 / 9.0
152 / 156
43.3 / 32.2
62.6
4
SiO2
1.4218
9.5 / 9.5
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TiO2(>70%)
WO3(4～10%)
V2O5(0.2～5%)
5. 다이옥신 제거효율
최대 99.5% 가능.
(통상 90～98%)
최대 99.5% 가능.
(통상 95～98%)
6. 주요구성설비
1) 백필터 집진기
2) 활성탄 저장/이송/주입설비
3) 석회석 저장/이송/주입설비
4) 반응후 물질 처리설비
1) 촉매반
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