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CMP 용 로타리 조인트 수리
CMP 공정 유지비용
Test System 연결
Leak Test Setting
Leak Test 방법 및 Spec
SLURRY 절감용 초음파 노즐 제안,CMP 공정 유지비용,로타리 조인트 수리,Leak Test 방법 및 Spec,SLURRY 절감용 CMP SLURRY 절감용 초음파 노즐 제안을
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기계적 힘(Mechanical)을 용하여 평탄하게(Planarization) 연마(Polishing)하는 반도체 공정. CMP 공정 도입 배경
CMP 장비구성
CMP 년간 유지비용 및 초음파 노즐 시장
초음파 노즐 필요성
공급 방식에 따른 Slurry 절감 효과
데모 적용결과
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Supplier
7. Vortex 유량계
1) 측정원리
2) 사양
3) 특징
4) Recommendable Supplier
8. 초음파 유량계(Doppler식)
1) 측정원리
2) 사 양
3) 특 징
4) Recommendable Supplier
9. 질량유량계
1) 측정원리
2) 사 양
3) 특 징
4) Recommendable Supplier
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