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Cherie R. Kagan & Paul Andry, Dekker, Thin-Film Transistors pp139∼140, pp158∼181 1. Introduction
2. Samsung electronics
3. What is TFT-LCD?
4. Compare TFT-LCD fabrication with semiconductor fabrication
5. Technology of Polysilicon Thin-Film
6. TFT-LCD Future
7. References
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Semiconductor Device Fabrication', Mc Graw-Hill,Inc., 1995
[4] 황호정, ‘반도체 공정기술’, 생능출판사, 1999
[5] 윤현민, 이형기, '반도체 공학', 복두출판사, 1995
[6] 이종덕, '실리콘집적회로 공정기술', 대영사, 1997
[7] 신현국, 'CVD/ALD 재료 기술 동향', (주)유
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Semiconductor Device Fabrication , Mc Graw-Hill,Inc., 1995, pp595
3. 윤현민, 이형기 , 반도체 공학, 복두출판사, 1995, pp.218
4. 김형열, 반도체 공정 및 측정 , 전자자료사, 1995, pp.123
5. 이종덕, 실리콘집적회로 공정기술, 대영사, 1997, pp.149
6.반도체 산업 및 반도
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