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Vapor depostion of coatings’, Progress in Materials
Science, 2003
[3] Stanley Middleman, K.Hochberg , 'Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication', Mc Graw-Hill,Inc., 1995
[4] 황호정, ‘반도체 공정기술’, 생능출판사, 1999
[5] 윤현민, 이형기, '반도체 공학', 복두
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vapor :
liquid :
이고 Fig 4.4 에 보라색으로 표시하였다.
여기에 아까구한 평균 온도를 대입하여 그 온도에서의 이론값으로 여길 Ethanol의 몰분율을 계산했다.
계산한 값은
vapor :
liquid :
이 값과 우리가 실험한 값과 비교하면
vapor :
liquid : 가 된
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CVD chemical vapor deposition 화학시상증착 공정
화학기상증착 공정이란?
◉ 화학 반응을 수반하는 증착기술로서 부도체, 반도체, 그리고 도체 박막의 증착에 있어 모두 사용될 수 있는 기술
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WHAT IS THIN FILM?
KIST Definition (1991)
- Thin Film : 기판층(substrate layer)에 형성된 수 m 이하의 두께를
갖는 것으로 독립적인 기능을 보유한 막.
ADVANTAGES OF THIN FILM
Complexibility and Accumulations
Easy processing
lm)
Easy Control of Thermal, Mechanical and Chemical Propert
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Vapor-Liquid Equilibrium Data Collection, Chemistry Data Service, vol. 1, parts 1-8, DECHEMA, Frankfurt/Main, 1974-1990
- "Introduction to Chemical Engineering Thermodynamics", Smith, Page 420, Fig. 11.4
- "The Molecular Structure of Alcohol-Water Mixtures", Phys. Rev. Lett. 91, 157401 (2003), J. H.
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Vapor Explosion : 비등액 팽창증기 폭발)
Confined explosion(밀폐공간 폭발)의 한 유형입니다.
- 밀폐공간 내에서 대기압하에서의 비점보다 과열된 상태에 있는 액체가 그 수용용기의 파열로 갑자기 가압상태에서 풀어질 때 일어나는 급속한 기화로
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