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R22 냉매를 대체할 수 있는, 상기 사항들을 고려할 때 R404a로 대체하는 것이 적합한
것으로 검증 됨. 1. 공정 대응 흐름도
2. Chiller & Heat Exchanger 사양서
PE CVD : JUSUNG
Dry Etch : TEL, ADP, ICD
3. 설치 실적
4. Chiller & Heat Exchanger 특장점
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❑ 냉동 Cycle의 이해
≪ 그 림 ≫
증발기(Evaporator)
:저압의 냉매는 증발기
에서 주위의 열을 흡수
하여 증발하고 중온
저압가스가 되어 압축기
로 되돌아온다.
≪ 그 림 ≫
압축기(Compressor)
:열을 함유한 저압가스는
압축기에
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75
0.000538313485
0.0454922501
C6PLUS
1.62E-05
0.00380192507
0.00380192507
1.62E-05
0.0180457474
<Table 2. Material Balance (Part.2) Pipeli-gas(S9) to S13>
Stream Name
S14
S15
S16
S17
S18
S19
S20
S22
Stream Description
Phase
Mixed
Liquid
Vapor
Vapor
Liquid
Vapor
Vapor
Liquid
Temperature [℃]
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▶ Descriptions :
Chiller is an automatic regulator controlling the temperature inside the wafer etching chamber. It is imperative semiconductor manufacturing equipment to produce high quality wafers
▶ Characteristics :
1) Temp. Range : -50℃ ~ +180℃
2) Temp. Stability : ±0.1℃
3) Safety
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Vapor compression chillers
Reciprocating compressor chillers
Rotary helical screw compressor chillers
Rotary scroll compressor chillers
Centrifugal turbo compressor chillers
Absorption chillers
Direct fired(냉온수기)/Indirect fired(중온수/증기 흡수식 냉동기)
Single/double effect 없음
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