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I. Low k Material
(1) What Is the Low k Material?
- Dielectric constant(유전상수) k 가 낮은 물질
▶ Dielectric constant(κ) – 재료의 Electric Polarization 에 대한 물리적 척도
Ex) Vacuum (or Air) : k=1 , SiO2 : k=4, Diamond : k=5.5-6.6
▶ 전기적 분극(Electric Polarization) –
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관계한 상수이다.
√ refractive indice와 dielectric constant의 관계
(2) 회절격자(diffraction grating)에 대해
회절과 간섭을 이용하여 빛의 스펙트럼을 얻는 장치. 평면유리나 오목 금속판에 다수의 평행선을 등간격으로 새긴 것인데, 이것에 빛을 쬐면 투
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양자효과
원자와 같은 미시적인 세계로 들어가면 에너지 레벨이 불연속이 되는 양자 효과(Quantum Effect)가 나타나게 된다.
반도체의 경우 유전상수 (dielectric constant)가 크고 유효질량(Effective Mass)이 작기 때문에 그 크기가 10 nm (10-9 m) 정도가 되
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dielectric constant) k값이 2이하인 절연체를 개발을 하면서 Photo-imagible Dielectric Material이 개발되면 Lithography 공정을 6 단계에서 3 단계로 줄일 수 있고 아울러 사용되는 많은 양의 chemical과 gas의 양을 줄일 수 있어 반도체제조 공정과 연관된 환경부
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dielectric constant)를 다음처럼 정의하자:
---<19-9>
여기서, 이다.
② 축전기에 유전물질을 넣으면 전기용량이 증가한다.
( ) (*) : 축전기 내부에 아무 것도 없을 때,
바꾸어 말해 진공에서 전기용량.
<보기> 평행판 축전기에서
---<19-10>
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