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기초
② 실험 기술
(3) 이온을 이용하는 방법과 음극 스퍼터링
① 2극 스퍼터링의 원리
② 음극 스퍼터링의 몇 가지 특수한 장치
③ 저압 음극 스퍼터링
④ 이온 프레이팅과 이온빔을 이용한 방법
5) 막의 두께 측정방법
6) 향후의 전망
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측정
(1). 비저항(Resistivity), 면저항(Sheet resistance) 측정의 의의
(2). 4점 탐침기 (Four point probe)
(3) 스타일러스(Stylus)
3. 기기 및 재료
4. 실험방법
5. 실험보고서
1). 증착된 알루미늄의 비저항
2). 증착된 알루미늄의 면적
3). 광학 현미경을
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위해 10분정도 Pumping 후
Chamber 내부를 상압으로 만든다.
(8) 광학현미경, 4-point probe, Stylus을 이용하여 증착된 알루미늄의 면적, 면
저항 그리고 두께를 측정함으로써 특성을 관찰한다.
5. 실험보고서
(1) 증착된 알루미늄의 비저항
가. 알루미늄
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측정 장치를 이용한 대면적 YBa2Cu3O7-δ 박막의 고주파 표면저항의 균일성 연구” 건국대학교 석사학위 청구 논문(2002).
[13] Sang Young Lee et al., Effects of the two-gap nature on the microwave conductivity of polycrystalline MgB2 films with a critical temperature of 39K, Phys. Rev
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5.2 Bias Aging에 따른 유기 박막 트랜지스터
소자 특성 분석···························38
제6장 결론·································45
참고 문헌··································46
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