O-Ring (Perfluoro) & Coupler의 NMP Dipping Test 결과 보고서

소개글

O-Ring (Perfluoro) & Coupler의 NMP Dipping Test 결과 보고서에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 결과
2. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 後 Image 비교 사항
3. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 방법
4. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 준비
5. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 준비 時 사전 침적 세정 결과

본문내용

결론)
1. Particle (≤0.3um) : 모든 Coupler Sample에서 7일 장기 결과 비교 時 1일 경과 後 발생한 Particle 수준에서 단조 감소하는 경향 확인됨
24Hrs 경과 時 발생한 Particle 개수를 Max로 이후에는 추가적으로 증가하는 경향 없으며, 모든 Sample에서 단조 감소하는 현상 확인됨
2. Particle (≤0.5um) : 모든 Coupler Sample에서 7일 장기 결과 비교 時 1일 경과 後 발생한 Particle 수준에서 단조 감소하는 경향 명확하게 확인됨
24Hrs 경과 時 발생한 Particle 개수를 Max로 이후에는 추가적으로 증가하는 경향 없으며, 모든 Sample에서 단조 감소하는 현상 확인됨
* Reference의 경우 시간이 경과함에 따라 안정화되어 단조 감소하는 경향 有, Test는 모두 1,000 zone의 Clean Room에서 진행하므로 Lid를 Open하여도 환경적인 영향은 없음

키워드

O-Ring,   Perfluoro,   Coupler,   NMP,   Dipping,   Test,   결과,   보고서,   Metal