박막공학의 통합적 이해와 분석

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목차

제1장 박막의 정의

본문내용

제1장 박막의 정의
박막
• 기계적 성질이 3차원 물체의 성질과 다르다.
• 입자들이 퍼져 있는 작은 섬들로 연결된 상태와 같다.
• 두께 : 단원자층, 단분자층의 것에서 부터 약 5㎛까지

1-1. 진공
(1) 진공(vacuum)
비어있다
(2) 진공장치의 설치목적
1대기압에서 0기압까지 용기내의 압력을 만들기 위하여.1-4. 진공도
Rough (low) vacuum 759 ~ 1×10-3 torr
High vacuum 1×10-3 ~ 1×10-8 torr
Ultra high vacuum less than 1×10-8 torr
1-5. 기체의 평균 자유행성
• The average distance a particle moves before it bumps another particle is the mean free path
• 실온상태의 공기에 대한 자유행정

키워드

박막,   기체,   자유행성,   진공,   콜드트랩,   진공공학