피라니 진공계와 스피닝로터 진공계의 정의와 비교

목차

1. 피라니진공계
1-1 정의
1-2 원리

2.스피닝로터 진공계
2-1 정의
2-2 원리

3.두 진공계의 공통점과 차이점

본문내용

공통점
기체 분자의 운동에 따른 저항의 변화에 의한 진공도를 측정하는 방법이다.
●두 진공계의 차이점
피라니진공계 - 기체분자가 운동을 하여 필라멘트에 충돌하여 필라멘트의 열을 빼앗으면 이때 필라멘트가 열을 빼앗기므로 저항이 감소하여 전압계로 전류가 흘러들어가므로 전압계의 균형이 깨지는데 이때의 전류을 진공도로 확산하여 진공을 측정한다. 필라멘트가 뜨거울수록 저항은 큰다.
스피닝 로터 진공계 - 기체분자가 유리관 안에서 회전중인 구에 충돌하여 회전구의 회전속도를 감소시켜 구의 위치가 변하는데 이때 제어 전류를 흘려보내 구의 위치를 바로잡아준다. 이때 구의 회전속도 감속률은 압력 또는 기체분자의수(점성) 에 비례 하므로 이의 관계를 이용하여 회전속도 감속률에 따른 압력 변화를 이용하여 진공도를 측정한다.

키워드

공학,   진공계,   피리니진공계,   스피닝로터진공계