TLM(Transfer Length Method)이란?

목차

What is the TLM??

Ohmic contact

sheet resistance

contact resistance

specific resistance

TLM 이용법

CTLM??

본문내용

What is the TLM
금속과 반도체 계면의 단위 접촉저항(pc)
반도체/금속 접촉 구조에서 오믹 접촉에 대한 정량적인 값 제공
접촉 저항값은 접촉면적에 대하여 독립적인 값을 갖음
TLM(transfer length method)
단위 접촉 저항을 측정하는 방법 중 간단하면서도 가장 많이 쓰는 방법
이 방법은 전하가 이동하는 동안 전체 접촉 면적 모두 전하가 통하는 것이 아니라는 가정을 둔다
Ohmic contact
전압-전류 특성이 옴의 법칙을 따르는 금속과 반도체와의 접촉.
도핑 농도가 낮은 반도체에 금속이 접촉되면 접촉면에 전위 장벽이 형성되기 때문에 양호한 오믹 접촉을 기대할 수 없다.
전위 장벽의 높이는 금속의 일함수를 φm, 반도체의 일함수를 φs라 했을 때 n-type 반도체에 대해서는 φm＜φs, p-type 반도체에 대해서는 φm＞φs가 되는 조합을 선택하면 캐리어에 대한 전위 장벽은 생기지 않는다.
★ 1017cm-3이하의 농도로 도핑
★ 낮은 도핑 농도로 depletion width가 넓게 되므로 tunneling이 일어나기 힘듬.
★ 오믹 접촉을 하기 위해서는 쇼트키 장벽을 낮춰야 함.
★ 금속과 반도체 간 일함수를 조정하여 쇼트키 장벽 낮춤
★ p 메탈의 경우 반도체의 일함수보다 높은 일함수를 갖은 메탈 선정

키워드

TLM,   Ohmic contact,   contact rasistance,   sheet resistance