[물리화학실험] 기체유량측정 예비리포트

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본문내용

설정한 유량값과 제어밸브 사이에는 PID 제어회로가 필요하다. 제어회로는 미리 설정된 유량값에 비례하여 밸브를 제어하는 기능을 가지고 있다. <그림 1>을 통해 설명하면,Set에서 미리 유량값을 설정하면 Flow Readout에서 출력되는 유량 전압신호와 비교하여, Driver를 통해 밸브를 제어하는 기능을 수행하고 있다.
6) MFC 조작부
7) 관련 용어
(1) 보정 곡선[calibration curve]
일련의 표준시료의 값과 그들에 대한 측정기가 지시하는 값과의 대응을 나타내는 곡선. 보정곡선이라고도 한다.
(2) 질소(Nitrogen)
비금속 화학 원소로, 기호는 N이고 원자 번호는 7이다. 일반적으로 색깔, 냄새, 맛이 없는 기체 상태로 존재한다. 질소는 지구 대기의 78 퍼센트를 차지하며, 모든 생명 조직의 구성물이다. 또한 질소는 아미노산, 암모니아, 질산 그리고 시안화물과 같은 중요 화합물을 구성하는 물질이기도 하다.
(3) 유량：관로를 지나 단위시간에 흐르는 유체의 체적또는 질량의 정도를 나타내는 양.
(4) 체적 유량：단위시간당 흐르는 양을 체적으로 표현하는 유량.
체적 유량은 그 유체의 온도·압력에 있어서의 유량이고, 통상 L/min, mL/min, 등으로 나타납니다.
(5) 질량 유량：단위시간에 흐르는 양을 질량으로 표현하는 유량.
질량 유량은 그 유체의 온도·압력에 관계하지 않고, g/min등으로 나타납니다만, 통상 유량의 단위로 g/min는 일반적이지 않기 때문에, 0℃ 1013 hPa 혹은 25℃ 1013 hPa의 조건하에 있어서의 체적 유량값으로 나타냅니다.
3. 실험장치(Experimental Device)
질소실린더, MFC(Mass flow controller), 유량계(Bubble flowmeter), 초시계(Stop watch) 등
4. 실험방법(Experimental method)
1) MFC 설정치를 10으로 맞춘다.
2) 유량계 눈금 10 ml를 bubble이 통과하는 시간을 측정한다.
3) MFC 설정치를 30, 50, 70, 90으로 맞추면서 각각의 시간을 측정한다.
4) 유량 (ml/min)을 계산한다.
5) Calibration 그래프를 작성하고, regression 방정식을 만든다.
6) 유량 20 ml/min과 40 ml/min을 맞출려면, MFC 설정치를 각각 얼마로 고정시켜야 하는지 계산해본다.
5. 참고문헌 (reference)
1) 기체 유량 측정의 원리와 특성, 한국표준과학연구원 유체유동그룹, 최용문 p.21
2) http://www.procon.co.kr/pdf/2001%204/2001%204-special-1.pdf
3) http://www.google.co.kr/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&frm=1&source=web&cd
4) http://blog.naver.com/kits7007?Redirect=Log&logNo=70130884297
5) http://terms.naver.com/search.nhn?query=%EC%A7%88%EC%86%8C

키워드

물리화학실험,   질소,   MFC,   질량유량,   체적유량,   Calibration,   Regression,   기체유량측정,   반도체공정,   화공실험