SEM image의 생성 원리, OM과 SEM 이미지의 차이점

소개글

SEM image의 생성 원리, OM과 SEM 이미지의 차이점에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. SEM image의 생성 원리에 대해서 설명하시오.

2. 관찰시 어떤 sample은 charging 현상이 일어난다. 이러한 현상이 일어나는 이유는 무엇이고, 문제점을 해결하기 위해선 어떤 조치를 취할수 있는가?

3. OM과 SEM의 image를 보고 차이점을 말하고 그 이유를 설명하시오.

Referece

본문내용

rgy state에 있게 되어 secondary electron의 방출이 다른 곳보다 많다. 그 결과 SEM image에서 grainboundary는 밝게(흰색)으로 나타난다.
(2) 배율의 차이
SEM은 전자가 시편을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선 electron beam을 표본의 표면에 주사하고, 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 secondary electron은 detector에 의해 수집된다. 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 CRT에 상을 형성하게 한다. SEM의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰할 수 있다는 것이다. 따라서 파장이 짧은 전자선을 이용한 SEM은 광학 현미경에 비해서 훨씬 높은 배율의 측정이 가능하고, 명암이 있는 입체적인 image를 얻을 수 있다.
①OM의 경우 10배~2000배 (렌즈교환)
②SEM의 경우 10배-30만배 (연속가변)
Referece
◎주사현미경의 기초/황인옥/반도출판사
◎투과전자현미경학 개론/성창모/반도출판사
◎Physical metallurgy principles/Robert E. Reed-Hill,Reza Abbaschan/Cengoge
learning
◎http://user.dankook.ac.kr/~enerdine/sem.htm
◎http://www.djs.hs.kr/@home/auto/home_auto.htm
◎http://spe.sysu.edu.cn/course/course/10/build/lesson6-2.htm
◎구글 이미지

키워드

SEM,   electron gun,   charge up,   금속코팅,   배율,   SEM원리,   OM원리