진공펌프의 종류

소개글

진공펌프의 종류에 대한 보고서 자료입니다.

목차

♡진공펌프의 종류
*건식 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)
*만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)
*순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)
*배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE PUMP)
*로타리 피스톤 펌프 (ROTARY PISTON PUMP)
*로타리 기어 펌프 (ROTARY GEAR PUMP)
*피스톤 펌프 (PISTON PUMP)
*다이아후렘펌프 (DIAPHRAM PUMP)
*루츠 펌프 (ROOTS PUMP)
*수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)
*터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)
*확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)
*이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)
*흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)
*이 온 펌프 ( ION PUMP)
*게터 펌프 (GETTER PUMP)
*승화펌프 (SUBLIMATION PUMP)
*저온 펌프 (CRYO PUMP)

♡진공 펌프의 원리
1. 로타리 베인 펌프 ( Rotary Vane Pump )

본문내용

진공펌프를 써야하느냐 하는 것은 매우 중요한 문제이다. 공저에 적합한 진공펌프를 선정한다는 것은 곧 제품의 품질과 작업의 효율성에 지결되는 일일 뿐만 아니라, 펌프의 수명에도 영향을 미치기때문이다.
●체크 포인트1 : 작업 진공도
각 공정에서 요구되는 진공도를 체크 합니다. 예를 들어, 인쇄기 급지용에서 지질이 얇은 경우는400Torr, 지질이 두꺼운 경우는300Torr의 진공도가 요구되며, 의약품의 진공동결건조에서는 10Torr의 진공도가 요구된다. 이와 같이 각 공정마다 원활한 작업을 위해 요구되는 최적의 진공도가 있게 되는데, 이것을 체크하는 것이 쉽지 않다. 먼저 공정에 관한 상세한 데이터를 가지고 진공 기술 전문가와 상의를 해보면 정확한 작업 진공도를 알아낼수 있을 것이다.
●체크 포인트2 : 펌프의 최대 진공도
위에서 체크한 작업 진공도를 가지고, 이러한 작업 진공도를 무리없이 도달해 낼수 있는 펌프의 최대 진공도를 체크한다. 여기서 유의할점은 각 펌프마다 최대 도달진공도가 있고, 이에 따라 그 펌프가 적용 될 수 있는 진공 영역에 한계가 있다는 점이다. 최대 진공도가 어느 정도 되어야 작업 진공도를 "무리없이"도달해 낼수 있느냐 하는 것은 작업상태나 여건에 따라 다르나, 일반적으로 최대 진공도가 작업 진공도 보다 20%정도 더 낮은 것이 적당하다. 예를 들어 요구되는 작업 진공도가 10Torr라면 최대 진공도가 8Torr인 펌프를 사용하는 것이다.
●체크 포인트3 : 펌프의 기종선택
결정된 최대 진공도를 갖는 펌프의 기종을 골라보자. 예를 들어, 작업 진공도가 100Torr이고, 이에 따라 최대 진공도가 100*0.8=80Torr로 결정되면 다음과 같은 펌프의 기종들을 고려해 볼수 있다.
건식 진공펌프: 대체로 이 기종들의 최대 진공도가 110Torr안팎이므로 적합치 않다.
만유식 진공펌프 : 이기종들은 최대 진공도가 1Torr이하이므로 적합치 않다. 더구나 만유식은 오일이 항상 실린더 내에 차 있으므로,100Torr정도에서 가동시킬 경우 다량의 유연이 발생하게 된다.
주입식 진공 펌프 : 오일이 소량씩 정량 주입되므로 80Torr정도의 저진공 영역에서 유연을 발생시키지 않고 무리없이 작동할 수 있으므로 가장 적합하다.
●체크 포인트 4: 흡입되는 가스의 상태
펌프안으로 흡입되는 공기중에 포함된 가스나 먼지의 상태를 점검한다. 아세톤등의 용제가 포함된 경우: 오일 순환식을 쓰면 흡입되는 용해성 가스에 의해 오일이용해되어 윤활성이 떨어지므로 위험하다. 이런 경우는 배출 급유식이나 수봉식 펌프, 또는 스팀 이젝터 등이 적합하다.
수분이 다량 포함된 경우: 배출 급유식이나 수봉식 펌프가 적합하다.
부식성 가스나 폭발성 가스가 포함된 경우: 루츠펌프나 배출 급유식 또는 스팀 이젝터 등이 적합하다.
다량의 번지가 포함된 경우: 펌프 앞에 휠타를 달아 먼지를 제거하게 되면 펌프에 영향을 주지 않는다.
●체크 포인트5: 펌프 용량의 계산
<<용량을 산출하는 방법>>
① 공정 전체의 용적을 계산
진공로나 진공이 걸리게 되는 용기의 용적을 계산
용기로부터 펌프까지의 배관 용적을 계산
배관의 굵기와 길이에 따른 흐름저항을 계산
② 작업 진공도에 도달해야하는 최단 시간을 계산
③ 펌프의 용량을 계산
●체크포인트6: 악세사리의 필요 유무
각 공정에 따라 여러 가지 악세사리가 필수적으로 부착되어야 하는 경우가 많으므로 반드시 확인해 보아야한다. 일반적으로는 다음과같은 악세사리가 주로 많이 쓰이는 것들이다.
① 체크밸브
② 조절밸브
③ 바이패스 밸브
④ 휠타
⑤ 배기 휠타
⑥ 콘덴서
⑦ 소음기
⑧ 가스발라스트
⑨ 진공게이지

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