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소개글
RBS analysis in thin film에 대한 보고서 자료입니다.
목차
개요 및 원리
물리적 개념
장비의 구조
RBS 스펙트럼
기타 표면분석기술과 비교
장단점
본문내용
원리
고에너지의 헬륨이온이 표적물질의 원자핵과 탄성충돌하면 핵의 종류에 따라 후방산란되는 헬륨입자의 에너지가 달라짐이때 Detector로 측정된 후방산란된 헬륨입자의 에너지(channel)와 계수(yield)로 이루어진spectrum을 분석함으로써 표면의 여러 성질을 규명하는 기술
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