항온항습과 공기청정

목차

8장항온항습과공기청정

클린룸정의

클린룸의등급(청정도)

공기청정도기준법

Fed Std. 209E class 분류

대기중입자크기

각분야별청정도기준

클린룸기류속도

청정실공기

청정실부속장치

청정실부속장치

종이역할의변화

입자포집메카니즘

정전휠터의포집메카니즘

정전휠터의특징, 용도

부직포의여과효율

Prefilter/Carbon filter

medium 휠터

HEPA/ULPA 휠터

청정실덕트모듈( Clean room ducted module)

압력충만실(Clean room pressurized plenum)

청정실청정실공기순환장치(Clean room return air)

기류방식

BIO-CLEAN ROOM의정의

BCR class

산업분야별청정도

산업장비용청정실

반도체물질-실리콘

공기이온화-유도대전

공기이온화--마찰대전(friction charging)

정전기에의한청정실오염

사이클로메트릭칼로리미터

공기오염

『ENVIRONMENT』에서『\'IN\'VIRONMENT』로)

일산화탄소, 생물학적분진

아스베스토스(Asbestos)/검댕(Soot)

포름알데히드(Formaldehyde)//라돈라돈(Radon)(Radon)

본문내용

향을받는다. 여기에는표면상태, 마찰되거나분리되는부분의크기, 표면사이의압력, 분리혹은마찰의속도등이포함된다. 일반적으로매끄러운표면은더많은전하를만들어낸다. 또한표면이클수록표면사이의속도나압력이증가될수록더많은전하를만들어내게된다. 우수한절연체일수록마찰에의해더쉽게대전된다. Plexiglas와테플론같은부도체들은쉽게전하를보유하고많은양의정전하를발생시킬수있다.(때로는25,000볼트를넘기도한다) 절연체는전도체가접지되어있다고하더라도전도체와접촉분리를통하여마찰대전이가능하다. 만약전도체가접지되지않았다면부도체로부터의분리에의해대전될수있다.
정전기에의한청정실오염
청정실은HEPA여과시스템을사용하여공기로부터미소입자들을제거하도록되어있지만사람과기계와공정기구들이작업환경에오염을가져온다. 청정실에서보통쓰이는재료들(플라스틱, 석영, 세라믹, 유리와실리콘)은우수한절연체이며쉽게대전될수있다. 청정실에들어가는공기는HEPA 필터시스템을통과하는동안원래의이온함유량이제거되므로본래의정전기소멸특성을잃어버리게된다. 따라서청정실은오랜기간동안물체에남아있는높은레밸의정전하를조성하고있는실정이다. 중요한제품표면이생산공정중에흔히발생하듯이대전되고그전하가제거되지않는다면그표면은청정실의공기중에있는미소입자들을끌어당기게된다. 여과시스템이있더라도사람, 기계, 공정들은공기중에미소입자를방출하게된다. 이러한미소입자에영향을주는정전기의견인력은매우강해서한번대전된표면위에달라붙으면그오염된것을제거하기가매우힘들다. 이런종류의오염들은제품품질저하와장치고장의주원인이된다.
사이클로메트릭칼로리미터
이장치는공기엔탈피법에근거한열량측정장치로서룸에어컨, 패키지에어컨, 카에어컨등의능력측정에이용되고있다. 측정방식은공시품(에어컨)을보통의설치방법으로설치하여공시품실내기의흡입, 취출의공기온습도와풍량으로부터냉난방능력을구하고있다. 직접팽창식공조냉각과정밀하고고성능인코드테스터(풍량측정장치)로부터테스트조건의변경에도매끄럽게대응할수있다. JIS ISO에서정해진모든조건의능력측정이능률적으로가능하므로신제품개발에는필요불가결의장치다.이타입은코드테스터(풍량측정장치)가필요하다이것은공시품의취출측에밀봉해서설치해그공기가수풍실을통과하여노즐을통과한다. 동시에수풍실의정압이제로(대기압)로되도록배기보조팬을조절하여노즐입구의건구, 습구의온도를측정한다. 이값에의해서송풍량을산출하여공기측으로부터의능력을구하는장치다
공기오염
1880년에런던에서가정난방과공장에서발생한석탄가스가이산화황가스로이루어진독성스모그를형성하여2,200명이죽은사건이있었다. 그후1948년미국펜실바니아주Denora라는작은마을에서“killer fog”에의하여50명이사망하고1952년런던에서스모그로4,000여명이사망한이후에도시공기오염을방지하기위한정부노력이시작되었다. 105개유럽도시중70-80%가최소한1개오염물질에대한WHO기준을초과한것으로나타났다. 미국경우에도약8000만인구가기준에맞지않는지역에서거주하는것으로나타났다. 한편개발도상국경우에는인구급증, 차량증가, 산업화등으로공기오염이심하여베이징, 델히, 자카르타, 멕시코시티등은50년대런던수준에이르는심각한실정이다.그이후에여러국가에서오염물질로부터공공을보호하기위하여대기기준을설정하였고이중에는이산화황, 부유먼지, 지상오존농도, 이산화질소, 일산화탄소, 납등이있다. 이러한물질들은직접간접으로화석연료의연소와관련이있다.
공기오염
오염된외기가건강에위협적이기도하지만실내공기오염이사실더큰위험이되고있다. 산업화된국가에서는에너지효율개선으로비교적공기누설이없고환기도적으므로실내오염수준이높아졌다. 이경우에난로또는카펫으로부터의작은오염원은건강에해로울수있다. 다음도표는각지역별화석연료의사용비중을보여준다.
『ENVIRONMENT』에서『'IN'VIRONMENT』로)
Myth
외기는실내공기보다더오염되어있다.
Reality
실내공기는외기보다10배이상오염될수있다.
오랫동안인류는호흡하는공기오염과관련한문제를인식해왔다. 지난1세기동안공기오염에관한대부부의연구가외기에주안점을두었으나최근실내공기로관심이옮겨졌다. 제기되는질문은“실내공기가외기보다더많이오염될수있음을알고있는가?”이다. 이상하게들릴지모르지만85%이상시간동안생활하고작업하는공조공간의공기가외기보다건강에해로울수있다는사실이다. 공조가이루어지는대부분의사무실, 식당이외기환기가이루어지지않고있으므로그결과병균, 오염물, 증기를함유한공기가계속순환하여졸음, 무기력, 피로감, 현기증, 구토증등을일으킨다. 이모든것은실내공기질(IAQ)의중대한문제일수있다. IAQ가무엇이며영향을미치는인자가무엇이며어떻게측정하고어떻게개선될수있는가?
일산화탄소, 생물학적분진
일산화탄소는가스, 기름, 나무, 석탄등을연소할때발생한다. 인체가이가스에노출되면혈액의산소수송능력이떨어진다. 연소장치가적절히작동하여완전연소가되면이가스발생량은작지만불완전연소하는경우일산화탄소가스중독에의해생명에치명적인영향을가져올수있다. 생물학적분진은박테리아, 바이러스, 꽃가루, 곰팡이등으로호흡기를통해인체내에들어오면알레르기, 천식, 두통등문제를일으킬수있다. 이것들이증식하는조건은영양분(nutrients)과수분(moisture)이다.
아스베스토스(Asbestos)/검댕(Soot)
아스베스토스는타지않는광물질섬유를총칭하며작고가벼우므로공기중에부유한다. 이물질은단열성과내화성을높이기위하여첨가제로사용되기도하며작업장에서이물질에노출된작업자를대상으로조사한결과폐암발생가능성이높게나타났으나최초노출후20-30년간은병의징후가나타나지않았다. 가정에서발생원은지붕, 바닥재, 단열재등의건축자재이다. 공기중부유하는숯검댕(soot)은실내색을퇴색시키는역할을한다.
포름알데히드(Formaldehyde)//라돈라돈(Radon)(Radon)
Formaldehyde는건축자재생산에널리사용되며연소부산물이기도하므로실내, 실외에상당한농도로존재할수있다. 가정에서이물질은건축자재, 흡연, 가스난로등의사용으로생긴다. 이물질은접착제성분으로서의복이나커튼의주름형성에사용되고페인트첨가제로도사용되며, 가장중요한발생원은urea-formaldehyde (UF)접착제를사용하는합판이라고할수있다.이물질에오래노출되면문, 코, 목이아프고현기증, 구토가일어나며동물실험에서암이발생하기도하였다.무색무취의라돈은암석과지표면토양에서발견되는방사능가스로서우라늄붕괴부산물인라듐의자연붕괴로부터생긴다. 라돈이붕괴할때방사능부산물을형성하는데흡입할경우에폐암발생원이될수있다. 미국에서매년폐암으로죽는환자를조사해보면라돈이담배다음으로폐암의두번째발생원인이라고알려져있다.

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항온항습,   공기정청,   공기