AES(Auger Electron Spectroscopy)

목차

AES 란?
AES 의 원리
AES 의 구조
장점 및 단점

본문내용

A E S

Auger Electron Spectroscopy




　AES 란?
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■ Auger Electron Spectroscopy
■ Auger 전자 분광분석
■ Auger 전자 현미경

■ 시편에 가속전자를 쪼아 발생하는 Auger 전자의 에너지 분석
→ 시편 표면의 성분과 화학적 상태를 분석하는 기술




　방출 전자의 에너지원
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■ 전자 방출을 위한 에너지원 : X-선, 전자빔 사용

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　　　　　　　　　　　　　X - 선　│　전자빔
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　　초점을 임의로 조절할 수 없다　│　수백 Å 까지 크기 조절 가능
　　　　　시료 내부까지 투과한다　│　간단한 정전기적 장치로도 주사 가능
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■ 전자빔을 에너지원으로 사용

키워드

무지개,   반사의 법칙,   물방울,   반도체,   나노,   반도체공학,   공대,   반사