36 XPS

목차

XPS의 정의
XPS 기본원리
XPS 장치의 주요 구조
XPS 분석
AES와 비교 체험
XPS 장.단점

본문내용

XPS의 정의(X선 광전자 분광기)

photons이 물질에 입사될 때, 원자나 분자로부터 방출된 전자들의 에너지를 측정하여 재료의 조성, 불순물의 분석 그리고 Sputtering을 통하여 깊이 방향 분포 분석, 화학 결합 상태를 알 수 있는 표면 분석 장비

사용 예: 반도체 소재, 박막, 금속, 화합물, 유리, 촉매, 고분자 및 나노 소재 등의 표면 및 계면 특성분석
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광전효과 & 콤프턴 효과
콤프턴 효과: X선을 물체에 비추었더니 물체를 이루고 있던 전자가 튀어나가 입사 된 X선의 파장보다 긴 파장으로 산란 되며
이 때 산란각이 커질수록 산란 된 X선의 파장이 더 길어지는 현상

키워드

무지개,   반사의 법칙,   물방울,   반도체,   나노,   반도체공학,   공대,   반사