주사전자현미경의 원리 및 구성과 주사전자현미경의 실험결과

소개글

주사전자현미경의 원리 및 구성과 주사전자현미경의 실험결과에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. SEM이란?
　1.1.　SEM의 개발
　1.2 . 광학현미경과 비교
　1.3 . TEM과 비교
2. SEM의 원리
3. SEM의 구성
4. SEM의 동작원리
5. EDS란?
6. 실험보고
7. 실험결과

본문내용

1. SEM이란?

Scanning Electron Microscope




1.1. SEM의 개발
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1931년　　독일
　　　　　Max Knoll & Ernst Ruska, 최초 전자현미경(TEM) 발명
1938년　　M.V.Ardennes, 최초 주사전자현미경 개발(STEM)
1962년　　독일&일본&캐나다
　　　　　Charles Oatley, 최초의 SEM상용화
1982년　　러시아
　　　　　V.K. Zworykin 이 1942년 개발한 FE-SEM의 상용화
1990년대　반도체사업 활성화로 메머드회사 등장
2000년대　(주)미래로시스템, \\\"나노사업부\\\"에서 최초 경쟁력있는 국산화 및 상용화  
2007년　　(주)미래로시스템, \\\"나노사업부\\\"가 독립하여
　　　　　(주)새론테크놀로지 재설립              




1.2. 광학현미경과 비교
╋━━━━━━━━━━─────────

　≪ 사 진 ≫

대물렌즈 및 접안렌즈라고
부르는 2개의 렌즈를 조합하여 미소한 물체까지 확대하여
관찰하기 위한 광학기계.

대물렌즈로 확대한 물체의
실상을 접안렌즈로 확대하여 관찰.

확대배율은
대물렌즈가 1~100배 정도,
접안렌즈가 5~20배 정도,
대물렌즈와 접안렌즈의 배율을 곱한 것으로 2,000배 정도.




1.2. 광학현미경과 비교
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│　　　　　│　　　　광학현미경　　　　│　　　전자현미경
├────────────────────────────────
│　렌즈　　│　　　　　광학렌즈　　　　│　　　전자렌즈
│　시편　　│　　　　　　대기　　　　　│　　　　진공
│　분해능　│　　　　100nm~200nm　　　 │　　　　1~5nm
│　배율　　│　4배~100만배 (렌즈교환)　│　10배~2000배 (연속)
│　관찰　　│　　　　　　육안　　　　　│　　　　브라운관
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키워드

주사전자현미경,   원리,   구성,   실험결과,   SEM,   TEM,   EDS,   재료거동학