plasma

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plasma에 대한 보고서 자료입니다.

본문내용

재 분포된다. 이러한 현상을 debye shielding 이라 하고 이런 영향력이 미치는 범위를 dybye length라 한다.
* breakdown voltage : 사실상 순수한 기체는 각각의 입자의 관점에서 중성이기 때문에 외부의 전기장에 영향을 받지 않는다고 생각할 수 있다. 이런 기체가 방전을 시작하면 ionized gas가 되면서 도체로서의 역할을 하게 되므로 저항이 현저하게 낮아져서 같은 전압에서 전류는 급격히 상승하게 된다. 즉, 전압이 높아짐에 따라서 플라즈마가 형성되는 순간부터는 플라즈마의 유지에 필요한 전압은 Vp로 낮은 전압이 된다. 이런 현상을 breakdown 이라 한다.
* symmetric / asymmetric : Chamber 내에 Cathode와 Anode의 크기를 대칭적으로 배치시켰느냐 아니면 비대칭적으로 배치시켰느냐에 차이로 구분되며, 보통 Cathode의 크기를 작게 한 상태에서 교류회로에 연결한 경우 생기는 특별한 DC Bias를 self DC Bias 라 한다. 이런 현상은 전자의 상대적인 작은 질량에 의해서 Cathode 전위가 음의 전위를 띠며 이에 따라서 Self DC Bias가 형성된다.
* Free path / mean free path : 방전된 기체들은 기체 분자, 전자 및 이온으로 이루어져 있는데 이러한 입자들이 1회 충돌하고 나서 다음 충돌이 일어날 때까지 공간을 날아간 거리를 free path라 한다. 이 거리를 d라 하면 이 d는 긴 것과 짧은 것이 있어 일정하지 않다. 그래서 이것을 평균으로 나타낸 값을 mean free path라 한다.

키워드

plasma,   전자,   이온,   프라즈마,   플라즈마