실험6.집적회로 소자 공정 실험 예비+결과 보고서

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목차

실험6. 집적회로 소자 공정 실험 결과보고서



4. 예비보고서

7. 결과보고서

본문내용

m * l/a [Ω] = 500 [Ω]
l/a = 500 / 160m = 50000 / 16 = 3125 [sq]
따라서 균일하게 도핑된 3125개의 sq를 이어서 만들 수 있다
2) 박막의 두께에 따른 면저항 및 저항률의 변화 그래프를 해석하시오.
ρ 는 저항률 , L 는 길이 A 는 단면적
R = (ρ/t) (L/W) = Rs (L/W)
(A=t×w, 두께 t가 얇을 때는 위 식을 R＝Rs(l/w)로 고쳐씀)을 나타낸다.
<박막의 두께 t 에 따른 저항률의 변화>
L 과 W가 서로 같다면 면저항 Rs는 일정하다.
Rs가 일정할 때, 두께 t 가 커질수록 저항률 ρ가 커지고 반대로 두께 t가 작아질수록 저항률 ρ는 작아진다.
이와 별개로 저항률 ρ 는 도핑농도에 따라 변화하는데
균일하게 도핑된 직사각형 블록이라면 저항률은 위와 같다.
3) 결과보고서 1에서 제작한 저항을 통해 제작 가능한 히터의 원리를 설명하시오.
시즈 히터
1번 결과와 사진의 의해 길이가 길어 질수록 저항값이 커지게 된다 저항값이 커지게 될수록 발열량이 많아진다 이 길게 뻗게 되는 선저항을 돌돌 말아 사용하게 되면 선수 n배 만큼 발열량이 커저 히타의 역할을 할 수있게 된다.

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