포토공정 Photo Lithography.pptx

소개글

포토공정 Photo Lithography.pptx에 대한 보고서 자료입니다.

목차

정의
Photo 공정순서
Photo Resist
Exposure
Development

본문내용

Photo Lithography




정 의

PhotoLithography ?

Photo Lithography는 Wafer위에 Photoresist를 도포한 후 Exposure에 의해 Mask를 이용하여 원하는 형상의
Pattern을 형성하는 공정

　　≪ 그 림 ≫




Photo 공정순서

공정순서

〔Wafer 세정〕
〔표면처리〕
〔PR 도포〕
〔Soft bake〕
〔Alignment〕
〔Exposure〕
〔Development〕
〔Hard bake〕




Photo Resist

Yellow Room

Photo 공정이 이루어지는 곳은 Yellowroom이라 하며 방 전체가 노란색이다. 이유는 노광 작업시 다른 빛이 들어와 패턴 훼손을 최소화 하기 위해




Photo Resist

Photo Resist ?

반도체 제조 시 웨이퍼 표면 위에 미세한 회로를 그리기 위한 포토 공정에서 사용되는 고분자 액체.
웨이퍼 위에 균일하게 코팅된 PR은 빛에 노출되면 화학적 성질이 변하게 되는데, 빛에 노출된 부분이 제거되면 Positive, 노출되지 않는 부분이 제거되면 Negative 형으로 분류된다.

키워드

포토,   공정,   Photo Lithography,   사진,   공정순서,   정의,   포토공정