AlN 단결정 성장과 응용분야

소개글

AlN 단결정 성장과 응용분야에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. AlN 란?
2. AlN 단결정 성장 방법
3. AlN 의 응용분야
고찰

본문내용

용 기판소재로 응용이 가능하다.
또한 AlN 기판소재를 기반으로 제작 된 단파장 자외선광원을 이용한고 분해능 광학현미경에 응용되며, AlGaN 또는 AlN층을 성장시켜 고전력 고주파트랜지스터(High power RF transi- stor)를 제작 할 수 있다. 이는 AlN의 큰 밴드갭 특성과 매우 높은 열전도도 때문에 고전류가 소자에 흘러도 열에의한 손실이 적다는 장점을 가지고 있어 고온에서 동작하는 고에너지 전력 소자로 제작이 가능하다고 말할 수 있다. AlN 단결정 기판은 낮은 유전률을 갖기 때문에 SAW (Surface Acoustic Waveguide) 필터로도 이용할 수있는데 특히 고주파대역에서 좋은 특성을 보인다.
기존AlN SAW 필터제품은 다결정 박막형태로 만들어져 이용되고 있으나 단결정기판이 상용화 되면 고효율필터 소자가 가능 할 것으로 예상된다.19, 22) AlN 단결정에 대한 응용성 전망에 관해서는 앞으로 지속적으로 금속유기화학증착(MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor De- position) 기술과 장비의 발달이 진행되면 이종기판을 이용한 증착기술이 대단히 발달되기 때문에 AlN 기판이 모든 화합물반도체의 기판으로 사용될 수 있는 가능성을 조심스럽게 논하고 있다.
AlN 벌크 단결정 기판의 응용분야의 전망을 보면 AlN 단결정기판은 현재 생산초기 상태에 있고 일부가 UV 레이저다이오드용으로 사용되고 있으나 아직 개발이 필요한 상태이며 주로 일본 및 미국업체들에 의해 이끌어져 가고있다. 이러한 시장은 추후UV 소자산업이 지속적으로 증가하고 UV를 이용한 다양한 응용제품(공기정화기, 정수 및 정화장치, 의료용 살균기기 및 치료기기, 초고효율태양전지, Deep UV 광원을 이용한 현미경 및 분석기기 등)이 지속적으로 상용화되면 수요가 기하급수적으로 증가 할 것이라고 전망하고 있다.
고찰
이번 AlN 단결정 성장 및 응용분야에 관한 레포트를 작성하면서, AlN에 대한 정보를 많이 얻을 수 있었다.
Wafer로는 Si만 사용하는 줄 알았던 큰 착각도 고칠 수 있었으며 반도체공학 및 전자재료를 공부하고 연구하는 사람으로 결정을 왜 성장시키는가에 대한 궁금을 해결하고 결정에 대한 활용이 어떻게 되는지 몰랐지만 결정성장에 대한 목적과 활용에 대하여 개념을 다시 잡는 계기가 되었다.
아울러, 한 학기간 수업하여주신 교수님과 조교님께 감사의 말씀을 올립니다. 감사합니다.

키워드

AlN,   단결정 성장,   응용분야,   AlN 단결정 성장