목차
1. 실험목적
2. 실험배경 및 원리
3. 정리
4. 실험기구
5. 실험방법
6. 실험결과
7. 레퍼런스
2. 실험배경 및 원리
3. 정리
4. 실험기구
5. 실험방법
6. 실험결과
7. 레퍼런스
본문내용
판에서의 면저항값이다. 세 번째는 90nm의 SiO2 기판에서의 면저항을 볼 수 있다. 각각의 경우 첫 번째 그림은 투과율이 약 87%일 때 실험에서 구한 값과 비교해서 오차가 작음을 알 수 있다. 하지만 여기서는 우리가 실험한 그래핀의 투과율을 알 수 없다. 두 번째의 경우는 면저항이 600ohm/sq 보다 작으므로 측정값이랑 90ohm/sq 이상 차이난다. 오차율은 15%이상이다. 세 번째는 660~1500ohm/sq이므로 오차율을 재는게 힘들지만 최소 660ohm/sq 라 두고 했을 때 오차율은 약 5.5%로 매우 작다는 것을 알 수 있다. 하지만 여기서 간과하고 넘어가지 말아야할 것은 역시 보정계수인데, 인터넷에서 구한 값은 세 번째의 경우 정확히 샘플의 크기와 박막의 두께가 나와있고, 온도에 대해서는 나와있지 않다. 우리가 측정한 그래핀은 박막의 두께와 샘플의 크기를 잘 모른다. 단지 실온에서 측정했다는 온도에 대한 정보를 알고 있기 때문에 아마 이렇게 측정한 오차에 대한 것은 정확도가 매우 떨어진다는 것을 알 수 있지만 마지막에 조교님께서 우리의 실험 결과 값을 보고 나쁘지 않은 결과가 나왔다고 했으므로 이 정도에 만족해야 할 것 같다. 다음 FPP 장비를 쓸 때는 잊지 말고 박막의 두께와 샘플의 크기, 온도 값을 정확히 알아두고 해야 할 것이다.
레퍼런스
나노측정기기학 - Lecture# 11 (이형우 교수)
http://image.slidesharecdn.com/4pp-100329144649-phpapp02/95/4pp-6-728.jpg?cb=1269874099
http://image.slidesharecdn.com/4pp-100329144649-phpapp02/95/4pp-4-728.jpg?cb=1269874099
http://www.happycampus.com/doc/11085694
http://www.fpp.co.kr/customer/customer_02.html
그래핀 면저항 아래 3개
http://www.megantech.pl/en/top/graphene/cvd-graphene/cvd-graphene-on-sio2-si/graphene-on-90-nm-sio2-wafer-5-pack/
http://www.epnc.co.kr/atl/view.asp?a_id=8819
http://www.gstep.re.kr/html/trend_info/tech_trend_list.asp?no=54416
레퍼런스
나노측정기기학 - Lecture# 11 (이형우 교수)
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http://www.fpp.co.kr/customer/customer_02.html
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http://www.megantech.pl/en/top/graphene/cvd-graphene/cvd-graphene-on-sio2-si/graphene-on-90-nm-sio2-wafer-5-pack/
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