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논문 1건

[논문] 저온다결정 Si(LTPS) Technology와 전망
광센서 등의 부품을 내장 가능하며, 향후 더 많은 부품을 내장 가능할 것으로 보인다. 기존의 LPTS는 600℃의 온도에서 LPCVD (SiH₄)를 이용한 실리콘 필름 정착 방식을 사용하였지만, 현재 LPCVD와 PECVD 등의 방식으로 더 낮은 온도로 제작 가능하다
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  • 페이지 30페이지
  • 가격 3,000원
  • 발행일 2010.01.16
  • 파일종류 한글(hwp)
  • 발행기관
  • 저자
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