리소그래피(lithography)

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	[논문] 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작 리소그래피(e-beam lithography)나 포토리소그래피(photo-lithography) 방식에 비해 시스템구성이 간단한 장점이 있다. 반응성 이온 식각공정을 위한 패턴 형상, 즉, 최저면에서 실리콘 웨이퍼의 면이 드러나고, 최저면과 최고면의 대조비가 큰 형상을 홀로그래픽\|리소그래피\|RIE\|분광기\|UV molding\|UV imprinting\|Photoresist\|노광, 홀로그래픽 리소그래피 공정을 이용한 분광기 제작,	페이지 26페이지 가격 3,000원 발행일 2010.03.05 파일종류 한글(hwp) 발행기관 저자
	[논문] 유기물 절연체를 이용한 고성능 플렉시블 박막 트랜지스터 6_Flexible Display (고려대학교 권재홍, 정진 욱, 이영훈, 이원희) 1. 서 론 2. 이 론 1) PDMS (Polydimethylsiloxane) 2) Nano Transfer Printing 3) Decal Tranfer Lithography (DTL) 4) ITO (Indium Tin Oxide) 3. 실험방법 4. 결과 및 고찰 5. 결 론 TFT\|ITO\|PDMS\|PVP\|SOI\|플렉시블\|Flexible\|유기물, 유기물 절연체를 이용한 고성능 플렉시블 박막 트랜지스터,	페이지 8페이지 가격 1,800원 발행일 2008.06.23 파일종류 한글(hwp) 발행기관 저자

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