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리소그래피(e-beam lithography)나 포토리소그래피(photo-lithography) 방식에 비해 시스템구성이 간단한 장점이 있다.
반응성 이온 식각공정을 위한 패턴 형상, 즉, 최저면에서 실리콘 웨이퍼의 면이 드러나고, 최저면과 최고면의 대조비가 큰 형상을
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- 발행일 2010.03.05
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재료기술, TFT-LCD의 설계 및 공정 기술”
- 김차연, “BLU 기술동향” 한국정보디스플레이학회지 제2권 제1호, 2001.2
- “인포메이션 디스플레이” 한국정보디스플레이학회지 제6권 제3호, 2005.6
- 전자신문 < http://www.etimesi.com>
- 기술연구소 Ray
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재료기술, TFT-LCD의 설계 및 공정 기술”
- 김차연, “BLU 기술동향” 한국정보디스플레이학회지 제2권 제1호, 2001.2
- “인포메이션 디스플레이” 한국정보디스플레이학회지 제6권 제3호, 2005.6
- 전자신문 < http://www.etimesi.com>
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