플라즈마
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소개글

플라즈마에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 플라즈마(Plasmas)란 무엇인가?

2. 플라즈마의 상태

3. 플라즈마(Plasmas)의 사용용도

4. 플라즈마의 생성

5. 플라즈마의 특징

본문내용

1. 플라즈마(Plasmas)란 무엇인가?
물질은 잘 알려진 바대로, 고체, 액체, 기체 상태로 존재한다. 이는 물질의 물리적인 상태가 에너지가 개입되면 변화한다는 것을 뜻한다. 예를 들어 고체에 열을 가하면 고체는 녹아서 액체가 되고, 열을 더 가하게 되면 액체는 증발하여 기체가 된다. 그리고 기체에 계속해서 열을 가하게 되면 기체는 일반적으로 플라즈마가 된다. 결국, 플라즈마는 물질의 제4상태라고 말할 수 있을 것이다.
플라즈마는 고속으로 이동하는 고에너지 기체 원자와 분자의 무리이다. 원자나 분자들이 충돌하면 분해되거나 전리되어서, 이온이나 전자, 활성 분자나 원자의 풍부한 소스를 생성하고 자외선과 가시광선을 생성하게 된다. 이것은 상당한 반응성 혼합이기 때문에 화학결합을 깨뜨리거나 만들 수가 있고, 표면 에너지나 소수성과 같은 특성이나 접촉하는 표면의 특성을 변경하는 데 이용할 수가 있다.
2. 플라즈마의 상태
플라즈마 상태는 그 밀도와 온도를 그 주 파라미터로 사용하며 이 두 가지 요소에 따라 우리주변에서도 쉽게 찾아 볼 수 있는 플라즈마 상태들, 즉, 네온사인이나 형광등으로부터 시작하여 북극의 오로라, 태양의 상태, 핵융합로에서의 플라즈마 상태 등 광범위하게 분류되어질 수가 있다.
플라즈마라는 용어가 일반인들에게는 생소하게 들릴지는 모르지만 각 가정에서 조명등으로 사용하고 있는 형광등이나, 길거리에서 흔히 볼 수 있는 네온사인, 한 여름에 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 플라즈마 상태라고 하면 이해하기가 쉬울 것이다. 이중 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(Plasma Etch) 및 증착(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), 금속이나 고분자의 표면처리, 신물질의 합성 등에서 이용되고 있으며, 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 플라즈마 공정이 종래의 공정을 대체하고 있으며, 경우에 따라서는 플라즈마만이 제공할 수 있는 물질이나 환경을 이용하기 위한 응용분야가 점점 더 확대되고 있다



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  • 등록일2006.09.24
  • 저작시기2006.6
  • 파일형식한글(hwp)
  • 자료번호#365050
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