CONDITIONER&로터리조인트 수리 제안서

소개글

CONDITIONER&로터리조인트 수리 제안서에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1 Conditioner Body 내부
2Flexure 지지 축
3 종합의견
4 별첨
5 CMP 부품 소재 분석
6 CMP 용 로타리 조인트 수리

본문내용

수리 TAT 단축지원 : Spare Part 확보로 선 입고 후 수리 지원 가능
1. 저압 : Test 조건 100 rpm, 0.5bar로 Setting 후 10초 동안 Leak된 양을 check
Spec 1x E-5 (0.00005) 이내면 Pass
2. 고압 : 저압 Pass 후
Test 조건 100 rpm, 5bar로 Setting 후 10초 동안 Leak된 양을 check
Spec 1x E-5 (0.00005) 이내면 Pass

1. 사용 Gas : N2/ H2
2. Leak Test 부위 : 각각의 Vents 와 Ports
3. Setting : 압력 : 저압 - 0.5 Bar, 고압 5 Bar
: rpm : 100
1. Center Hole Leak 방지 : Masking tape, Rubber gasket을 이용하여 밀봉
2. Test System 과 연결
3. Rotating Chuck 과 Holding Fixture를 통하여 조인트를 고정
Conditioner 내부 구조
녹가루 발생은 Flexure 지지 축 원인으로 1차 먼저 발생하고 2차로 구리스 문제로
발생을 합니다.
Bearing에 사용하는 구리스가 DI, Slurry Fume 성분이 Conditioner 내부로
유입되어 구리스 성능이 저하되면서 증발하여 윤활 성분 부족으로 생기는
현상으로 구리스를 내화학성(불소 구리스) 으로 교체하고 주기적으로 주입하면 녹가루가 발생하지 않고 장기간 사용 할수 있습니다.

기존 Bearing에 대하여 상태를 점검하여 구리스를 교체 및 정기적 관리 가능 합니다.

키워드

Slurry Fume 성분,   CONDITIONER,   로터리조인트 ,   수리제안서,   수리계획,   반도체,   CMP,   Conditioner Body 내부,   CMP 공정은 Slurry