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목차
소프트 리소그래피의 개요
탄성 중합체 스탬프
나노 각인 리소그래피
마이크로 접촉 인쇄
복사조형
마이크로 전사 조형
소프트 리소그래피의 응용
탄성 중합체 스탬프
나노 각인 리소그래피
마이크로 접촉 인쇄
복사조형
마이크로 전사 조형
소프트 리소그래피의 응용
본문내용
소프트 리소그래피
소프트 리소그래피란 ?
탄성 중합체로 만들어진 스탬프를 이용하여 30nm부터 100μm
사이의 패턴 또는 구조물을 생성하는 공정
종류
나노 각인 리소그래피(NIL, NanoImprint Lithography)
마이크로 접촉 인쇄 (μCP, MicroContact Printing)
복사조형(REM, Replica Molding)
마이크로 전사 조형 (μTM, Microtransfer Molding)
전통적인 리소그래피
전통적인 리소그래피 : 광학 리소그래피
마스크의 패턴를 감광저항체에 전사하는 방법
장점 : 대량 생산에 적합.
단점 : ‘100nm 장벽’을 극복할 수 없다.
(100nm 장벽: 렌즈로 사용되는 광학물질의 투명도에 대한 단파장 차단과 광학 굴절에 의해 결정되는 대상체 축소의 한계 값 )
소프트 리소그래피란 ?
탄성 중합체로 만들어진 스탬프를 이용하여 30nm부터 100μm
사이의 패턴 또는 구조물을 생성하는 공정
종류
나노 각인 리소그래피(NIL, NanoImprint Lithography)
마이크로 접촉 인쇄 (μCP, MicroContact Printing)
복사조형(REM, Replica Molding)
마이크로 전사 조형 (μTM, Microtransfer Molding)
전통적인 리소그래피
전통적인 리소그래피 : 광학 리소그래피
마스크의 패턴를 감광저항체에 전사하는 방법
장점 : 대량 생산에 적합.
단점 : ‘100nm 장벽’을 극복할 수 없다.
(100nm 장벽: 렌즈로 사용되는 광학물질의 투명도에 대한 단파장 차단과 광학 굴절에 의해 결정되는 대상체 축소의 한계 값 )
추천자료
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- 페이지수37페이지
- 등록일2006.12.04
- 저작시기2002.4
- 파일형식파워포인트(ppt)
- 자료번호#380252
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